Уморихте ли се от обемистото оборудване, което превзема вашата лаборатория или малко производствено пространство? Настолната RTP система RTP-100 е създадена за малки пластини (максимум 6 инча)-перфектна за екипи, които се нуждаят от прецизност, без да жертват квадратни кадри. Той е лесен, надежден и съобразен с ежедневните нужди на изследователи и производители на малки партиди.
Какво обичаме в него
Пасва като ръкавица: С 910 mm × 860 mm × 695 mm (Ш × Д × В), той се плъзга в тесни ъгли или претъпкани работни маси. Няма нужда да пренареждате цялата си настройка само за да добавите възможност за термична обработка.
Контрол на температурата, на който можете да разчитате: Два начина за регулиране на топлина-термодвойка за стайна температура до 800 градуса и инфрачервен пирометър за 500 градуса до 1200 градуса. Загрява вафлите до 150 градуса /s (много по-бързо, отколкото при SiC или графитни носители, които са ограничени до 20-30 градуса /s). А последователността? По-малко или равно на ±3 градуса равномерно под 600 градуса, По-малко или равно на ±0,5% над това, плюс ±1 градус повторяемост - така че вашите резултати няма да варират партида за партида.
Без{0}}безпроблемна работа: Ръчното зареждане/разтоварване прави нещата лесни (чудесно, ако предпочитате ръчен-контрол), докато зумер и предупредителни светлини ви уведомяват, ако нещо не е наред. Компютърното управление прави настройката на параметрите лесна,-без необходимост от сложно обучение.
Покрива основите (и след това някои): Работи с вакуум до 30 mTorr, поддържа кислород под 3ppm и поддържа до 4 MFC канала. Независимо дали правите отгряване чрез йонна имплантация, растеж на оксид или топлинна обработка на малки проби, той проверява всички квадратчета за основна бърза термична обработка.
За кого е
Това не е за-мащабни фабрики-това е за лабораторните технологии, провеждащи ежедневни експерименти, малките производители, произвеждащи персонализирани компоненти, или изследователския екип, който тества нови материали. Ако работите с малки вафли и се нуждаете от постоянни резултати без проблемите с промишлени-оборудване, това е за вас.
Бързи съвети за правилното му използване
Превключване на температурни режими: Използвайте термодвойката за температури до 800 градуса и превключете на инфрачервена връзка в компютърния софтуер за нещо по-горещо. Системата се калибрира автоматично-приятно докосване.
Зареждане на вафли: Не пропускайте чистите ръкавици! Пръстови отпечатъци или прах разрушават. Дръжте внимателно, без изпускане и се уверете, че е центриран върху носача-прости стъпки, които спестяват главоболия по-късно.
Често срещани поправки: Ако зумерът изгасне при стартиране, първо проверете дали вратата на кухината е заключена здраво (всички сме го забравили!). Ако скоростта на нагряване не достига 150 градуса/s, уверете се, че не използвате носач, -който го забавя. И ако вафлите ви се окисляват неочаквано, проверете отново-вакуума (трябва да е по-малък или равен на 30 mTorr) и нивата на кислород (запазете го<3 ppm).
Поддръжка, която има значение: Избърсвайте кварцовата камера със спирт всяка седмица-мръсотията се натрупва по-бързо, отколкото си мислите. Проверявайте лампите на всеки 3 месеца (сменяйте след 1000 часа) и уплътнителните пръстени всеки месец за пукнатини. О, и не позволявайте на водното охлаждане да надхвърли 70 градуса -това е бърз начин да повредите части.
Солиден работен кон
Сертифицирано по стандартите SEMI S2, това нещо е създадено да издържи. Той няма забележителни допълнителни функции, които никога няма да използвате, но заковава най-важното: прецизност, компактност и лекота на използване. За лаборатории и малки екипи, които се нуждаят от решение за термична обработка, което работи ден след ден, RTP-100 е без-мозък. Не е съвършен (нищо не е!), но е надежден – и това е, което има значение, когато се опитвате да поддържате експериментите или производството на пистата.
