RTP оборудването за окисление и дифузия е основен инструмент за термична обработка на полупроводници,-комбиниращ окисление, дифузия и отгряване в едно здраво устройство. Той работи безпроблемно със силиций, силициев карбид и други критични материали, боравейки с пластини до 8 инча, и си е спечелил репутация за надеждна производителност и прецизен контрол, който отговаря на ежедневните-за-изисквания на обработката на полупроводници.
Основни приложения
1. Масово производство на силициеви -устройства: Това е работният кон зад ИС, IGBT и подобни компоненти. Ще го използвате за отглеждане на изолационни филми чрез окисление, набиране на нива на допинг с дифузия и изглаждане на дефекти чрез отгряване-всичко това, като същевременно поддържате високия-обемен изход, необходим в потребителската електроника и индустриалния контрол.
2. Обработка на широко-широколентови материали: Този инструмент наистина се налага с усъвършенствани материали като SiC и GaN. Позволява ви да регулирате правилно концентрациите на допинг и да изглаждате интерфейсите на материалите, което е от ключово значение за производството на високо-части с висока производителност-модули за захранване за нови енергийни превозни средства, които трябва да издържат на трудни условия.
3. Полупроводникова научноизследователска и развойна дейност: Университетите и лабораториите се кълнат в нея заради нейната гъвкавост. Това е мулти{2}}процесорна платформа, която позволява на изследователите да превключват между окисление, дифузия и други безпроблемно-перфектна за тестване на нови материали като галиев оксид или провеждане на експерименти, за да видят как се променят различните параметри.
Идеални потребители
1. Мащабни-производителни компании: Ако произвеждате полупроводници за потребителска електроника или превозни средства с нова енергия, това оборудване трябва-да имате. Неговият-в-дизайн намалява допълнителните разходи и поддържа работните потоци движещи се, докато стабилната му производителност гарантира, че производството остава на пистата и добивите остават постоянни-няма неочакван престой, който да ви забавя.
2. Изследователски институции и университети: За екипи, които копаят в нови полупроводникови материали, този инструмент отговаря на изискванията. Той се справя с лекота с експерименти с малки{2}}партиди, работи с широка гама от материали и ви позволява да настройвате параметрите на процеса, ако е необходимо-като помага за ускоряване на темпото на иновациите без компромис с резултатите.
3. Средни и малки производители на устройства: Ако трябва да жонглирате с персонализирани поръчки с партидно производство, това оборудване е умен избор. Той работи с множество материали, така че не е необходимо да купувате отделни инструменти за различни процеси, а настройката му за 1-4 процесни тръби ви позволява да увеличавате или намалявате капацитета. Тази гъвкавост е голям плюс, когато се опитвате да останете конкурентоспособни на бързо развиващ се пазар.
