Технически принцип
3D оптичният профилометър използва главно две оптични технологии:
1. Технология за интерференция на бяла светлина: Чрез анализиране на фазовите промени на интерферентните ивици и изчисляване на разликата във височината на повърхността, тя има субнанометрова надлъжна разделителна способност.
2. Конфокална технология: използвайки принципа на конюгирания фокус на лещата на обектива, точността на фокусиране достига 2nm, подходяща за измерване на повърхности с голям наклон.
Поле за приложение
1. Прецизно производство: Анализ на отказите на полупроводникови чипове, Характеризиране на MEMS устройства.
2. Изследване на материали: Откриване на корозия на метали/пластмаси, измерване на отразяващата способност на оптичния филм.
3. Промишлени тестове: Анализ на износването на автомобилни компоненти, оценка на равнинността на авиационни компоненти.
