Преглед на продукта

Трите оборудване за магнетронно разпръскване на нашата компания, базирани на PVD технология, всички отлагат високо{0}}качествени метални, диелектрични и полупроводникови филми, но се различават по фокуса на приложението.

Вземете промишления еднокамерен-модел: той е проектиран за широко{1}}мащабно производство, с изключително целево използване, което поддържа разходите под контрол. Той се справя безпроблемно с 8-инчови вафли, осигурявайки последователни изисквания за промишлено производство.

След това има индустриална много{0}}камерна версия, която използва модулни, независими камери (помислете за нагряване, разпръскване и др.), за да автоматизира целия процес на нанасяне на покритие.

Това е-промяна на играта за масово-произвеждане на сложни много-слойни филми, намалявайки ръчната намеса. Машината с изследователски-клас, от друга страна, е проектирана специално за университети и изследователски институции. Той предлага гъвкави настройки-като много-целево разпръскване-за приспособяване на малки-сериди научноизследователска и развойна дейност, независимо дали за материали от силициев карбид или прототипи на квантови чипове. И в трите се придържаме към ангажимента си за „качество на изработката“, като се уверяваме, че отговарят на разнообразните нужди на полупроводниковата индустрия.

За да получите най-доброто решение за вас, моля свържете се с нас.

Приложения

Всяко от трите оборудване за магнетронно разпръскване на нашата компания има своя собствена ниша-заедно покривайки всяка нужда в полупроводниковата индустрия.

Вземете промишления еднокамерен-модел: става въпрос за широкомащабно-производство, като интегрални схеми. За подготовка на 8--инчови пластини с тънък филм, той е бърз и стабилен, включва се направо в производствените линии на CMOS/IGBT и постига безпроблемно целите както за капацитет, така и за добив.

Индустриалният много-камерен се откроява с пълна автоматизация и солидна интеграция. Тези трудни сложни много-слойни филми за 5G и оптоелектронни устройства? Той се справя лесно с тях, отговаряйки на строгите изисквания за прецизност на масовото производство.

След това моделът-за оценка-този е пригоден за университетска научноизследователска и развойна дейност. Той поддържа тестове на малки-сериди на нови материали като силициев карбид и действа като супер гъвкава платформа за проверка.

Предимства

Всяко от нашите три оборудване за магнетронно разпръскване предлага целенасочени предимства на масата, пригодени за различни сценарии на приложение:

1. Индустриален еднокамерен-модел:

Постига високи резултати с високо целево използване-директно намаляване на оперативните разходи. При обработка на 8--инчови пластини, той осигурява стабилна производителност; еднородността на филма остава в рамките на ±3%, лесно достигайки изискванията за промишлен добив. Плюс това, простата му структура прави поддръжката лесна.

2. Промишлен много-камерен модел:

Модулните автоматизирани камери са неговият ас в дупката, повишавайки значително производствената ефективност. Освен това разполага с усъвършенстван контрол на частиците, който гарантира най-високо{1}}чистота на филма-идеален за изработка на много-слойни филми, използвани в 5G и оптоелектронни устройства. Нещо повече, неговата силна способност за интегриране му позволява да се адаптира безпроблемно към широка гама от материали.

3. Изследователски-модел за оценка:

Проектиран с мисъл за научноизследователска и развойна дейност, той предлага гъвкави настройки като много-целево разпръскване, за да отговаря на новите нужди за разработване на материали. Микрометър{2}}прецизността на нивото дава надеждна поддръжка за проверка на процеса, а неговият малък-дизайн за обработка на партиди помага за намаляване на разходите за изпробване на R&D-идеален за лабораторни изследвания.

Параметри

Елемент	Индустриален еднокамерен-модел	Промишлен много{0}}камерен модел	Модел-на степен на проучване
Приложим размер на вафла	8 инча и по-малко	6 инча/ 8 инча	8 инча и по-малко
Краен вакуум	8x10-5 Pa	2x10-5 Pa	-
Еднообразие на филма	По-малко или равно на ±3%	По-малко или равно на ±3%	±3% (4-инчова цел, 8-инчова пластина)
Контрол на температурата на етапа на субстрата	RT-650 градуса (или охлаждане)	-	RT-600 градуса (отопление или охлаждане)
Скорост на въртене на етапа на субстрата	-	-	5-20 RPM
Метод на разпрашване	Разпръскване-на една цел	-	Единична-мишена/много-целеви последователно/ко-разпръскване
Захранване	Опция DC/RF/MF	-	Опция DC/RF/MF
Ключови конфигурации	Единична технологична камера; По-малко или равно на 4 целеви пистолета	По-малко или равно на 5 камери за процес (нагряване, охлаждане, разпръскване и др.)	Мулти{0}}целево разпрашаване: предварително-вакуумна камера (по избор); модул за почистване на проби
Приложими материали	Силиций, съединения, керамика и др.	Силиций, съединения и др.	Метали (Al, Au, Cu), диелектрици (SiO2, TaN), полупроводници

ЧЗВ

Как да избера между трите модела?

За масово производство на 8--инчови пластини (напр. CMOS/IGBT), изберете индустриалния модел с една-кухина; за сложни многослойни филми в 5G/оптоелектроника изберете индустриалния модел с много кухини; за изследване и разработване на нови материали в университетите (напр. силициев карбид), изберете изследователския модел.

Поддържа ли покритие от материали, които не са-базирани-на силиций?

Да, поддържа всичко, обхващайки керамика, съставни полупроводници, метали (Al/Au), диелектрици (SiO₂) и др.

Може ли размерът на вафлата да се разшири?

По подразбиране е 8 инча и по-малко (6-8 инча за модела с множество-кухини). Разширяването в малък мащаб може да бъде персонализирано предварително, но осъществимостта на процеса трябва да бъде оценена.

Какви са условията за изпитване за еднаквост на дебелината на филма По-малко или равно на ±3%?

Въз основа на 8-инчови пластини (4-инчова целева + 8-инчова пластина за изследователския модел), стандартно тестване на слоя метал/диелектрик. Възможна е оптимизация за различни материали/дебелини на филма.

Осигурено ли е обучение за монтаж?

Осигуряваме -инсталация и пускане в експлоатация плюс обучение за работа/поддръжка, за да гарантираме, че екипът може бързо да започне.

Може ли оборудването да бъде надстроено по-късно?

Мулти{0}}кухините и изследователските модели могат да бъдат надградени с мишени/пре-вакуумни камери; моделите с една-кухина имат ограничен потенциал за надграждане, така че препоръчваме ясно да дефинирате дългосрочните-нужди от самото начало.

Колко дълъг е цикълът на доставка? Може ли да се ускори?

Модели с една-кухина/изследване: 8-12 седмици; модели с много кухини: 12-16 седмици; ускорената доставка е по договаряне и зависи от графика на производствената линия.

Има ли отстъпки за-разходите за поддръжка след производството?

Основно за целеви материали и консумативи. Консумативите се предлагат с отстъпка, по-голяма или равна на 10% за 5 години след гаранционния период. Ние също така предоставяме насоки за поддръжка за намаляване на разходите.

Популярни тагове: оборудване за магнетронно разпрашване, Китай производители на оборудване за магнетронно разпрашване, доставчици