Нашата тръба за вертикална пещ е специализирано решение за термична обработка, създадено за производство на комбинирани полупроводници и оптоелектроника. Той е проектиран да предоставя постоянни, повтарящи се топлинни среди за критични процеси на пластини, съчетавайки здрав механичен дизайн с прецизен контрол на температурата и газа, за да поддържа високо-обемно производство с тесни прозорци на процеса.

Стабилна, надеждна работа: Системата е проектирана за дългосрочна-работа с нисък-престой, с постоянна топлинна еднородност и повторяемост на процеса, което спомага за поддържане на високи добиви в производствените серии.

Силни предпазни мерки за безопасност: Многослойна система за блокиране на безопасността непрекъснато следи температурата, налягането и газовите условия, като автоматично реагира на аномалии, за да защити операторите, пластините и оборудването.

Интуитивна, ефективна работа: Интерфейсът и работният процес са рационализирани, за да намалят времето за обучение и човешки грешки, докато оптимизираните цикли на зареждане и процес подобряват общата производителност и лесната поддръжка.

Гъвкаво покритие на процеса: Съвместим с 6-инчови и 8-инчови пластини, побиращи до 150 парчета на цикъл и работещи от 400 градуса до 1250 градуса, което го прави подходящ за голямо разнообразие от термични стъпки в модерното производство на устройства.

Тази вертикална пещна тръба поддържа пълен набор от термични процеси, използвани в производството на полупроводници и оптоелектроника:

Окисляване: образуване на високо{0}}качествени диелектрични слоеве върху повърхностите на пластините

Отгряване: облекчаване на напрежението, поправяне на дефекти и настройка на електрическите свойства на материала

Легиране: регулиране на състава и ефективността на тънкослойни сплави-

PI втвърдяване: полимерно омрежване и стабилизиране за полиимидни слоеве

Отлагане на-тънък филм: Poly, TEOS, SiN, HTO и други ключови процеси за растеж на филм

В: 1. Какво е вертикална тръба за пещ?

О: Вертикалната пещна тръба е високо{0}}прецизно оборудване за термична обработка за производство на полупроводници и оптоелектроника, използвано за окисление, отгряване, легиране, PI втвърдяване и отлагане на тънък слой.

В: 2. За какви процеси се използва вертикалната тръба на пещта?

О: Поддържа окисление, отгряване, легиране, PI втвърдяване, Poly, TEOS, SiN, HTO и други процеси на растеж на тънък филм.

В: 3. Какви размери на вафли и температурен диапазон поддържа?

О: Поддържа 6-инчови и 8-инчови вафли (до 150 броя на партида) с температурен диапазон на процеса от 400 градуса до 1250 градуса.

Въпрос: 4. Какви са основните предимства на тази вертикална тръба за пещ?

О: Висока надеждност и стабилност, пълна система за блокиране на безопасността, удобна за потребителя работа, висока ефективност и отлична еднородност на процеса.

Въпрос: 5. Лесен ли е за работа и поддръжка?

О: Да, разполага с прост интерфейс, рационализиран работен процес и ниски изисквания за поддръжка.

В: 6. Може ли да се персонализира за конкретни процеси?

О: Да, ние предлагаме персонализиране за температура, газови системи, рецепти за процеси и методи на зареждане, за да отговорим на специални нужди.

Популярни тагове: вертикална термична обработка пещ, Китай вертикална термична обработка пещи производители, доставчици