Преглед на продукта

Настолното RTP оборудване Адаптивно към вафли с малък-размер, оборудването се отличава с компактен дизайн и гъвкаво разположение. Контролът на температурата обхваща стайна температура до 800 градуса (термодвойка) и 500 градуса до 1200 градуса (инфрачервен пирометър), с максимална скорост на нагряване от 150 градуса /s (само за пластини). Еднородността на температурата е по-малка или равна на ±3 градуса (по-малка или равна на 600 градуса) / по-малка или равна на ±0,5% (>600 градуса), а възпроизводимостта е ±1 степен, осигурявайки прецизен температурен контрол. Той използва ръчни режими на товарене/разтоварване и отваряне/затваряне на вратата, оборудван е със зумер и предупредителни светлини и поддържа управление от компютър. Настолното RTP оборудване може да отговори на основните изисквания за бърза термична обработка, като отгряване чрез йонна имплантация и растеж на оксид в лабораторни R&D и сценарии за производство на малки-серии.

Предимства

Силно приспособим към пространството: Компактният дизайн позволява гъвкаво разполагане, изискващо минимално пространство и подходящо за лаборатории или среда за производство на малки-сериди с ограничено пространство.

Прецизен и стабилен контрол на температурата: Еднородността на температурата достига по-малко или равно на ±3 градуса (по-малко или равно на 600 градуса) / по-малко или равно на ±0,5% (>600 градуса), отговаряйки на изискванията за точност на температурата на основните процеси.

Безопасна и интуитивна работа: Оборудван със зумер и предупредителни светлини, той незабавно показва състоянието на оборудването, намалявайки оперативните рискове. Поддържа се компютърно управление и настройката на параметрите е удобна.

Добра адаптивност към основни процеси: Поддържа минимално налягане от 30 mTorr и съдържание на кислород от<3ppm. With 4-channel maximum MFC, it meets basic vacuum and atmosphere requirements, adapting to various simple and rapid heat treatment scenarios.

Приложения

Отгряване чрез йонна имплантация

Прост растеж на оксид/нитрид

Предварителна обработка на силицидна сплав

Предварително омично контактно легиране

Друга топлинна обработка на малки проби

Параметри

Модел	RTP-100
Размер на вафлата	6 инча и по-малко
Размер	910mm×860mm×695mm(Ш×Д×В)
Температурен диапазон	RT~~800 градуса (контролиран от термокоп) 500 градуса ~1200 градуса (контролиран от пирометър)
Максимална скорост на нагряване	150 градуса /s---само вафла 20 градуса /s---SiC носител 30 градуса /s---Графитно носещо покритие SiC
Равномерност на температурата	По-малко или равно на ±3 градуса @ По-малко или равно на 600 градуса По-малко или равно на ±0,5% при >600 градуса
Повторяемост на температурата	±1 градус
Брой лампи/SCR	29 ea / 10 комплекта
Макс MFC	4
Най-ниско налягане	30 mTor
Скорост на теч	10mTorr/мин
O₂Процент	<3 ppm
Макс./ср. мощност	60/ 36 Kw
Напрежение	380V/ 60HZ/ 3 фази 5 проводника
Контролен метод	PC контрол

ЧЗВ

Зумерът звучи и предупредителната лампа светва след стартиране?

Първо натиснете "RESET", за да спрете алармата. Проверете дали вратата на кухината е плътно затворена и ключалката на вратата е сигурна. Ако проблемът продължава, проверете окабеляването на сензора за заключване на вратата.

Какви предпазни мерки трябва да се вземат при ръчно зареждане и разтоварване на вафли?

Носете чисти ръкавици, за да предотвратите замърсяване. Боравете с вафлата внимателно, за да избегнете сблъсъци и се уверете, че е центрирана върху носача.

Как да превключа между контрол на температурата чрез термодвойка/инфрачервен пирометър?

Switch the "Temperature Control Mode" in the PC software: Use thermocouple for ≤800℃, manually switch to infrared for >800 градуса. Системата автоматично ще се калибрира след превключване.

Скоростта на нагряване не е 150 градуса /сек (само за вафли)?

Потвърдете, че няма носител (SiC/графитните носители ще ограничат скоростта); проверете дали всички лампи работят правилно. Дефектните компоненти изискват-следпродажбено обслужване.

Еднородността на температурата надвишава ±3 градуса (по-малко или равно на 600 градуса)?

Потвърдете вафла По-малко или равно на 6 инча; проверете захранването на лампата в софтуера, ако е ненормално, насоки от инженер за фина-настройка; редовно почиствайте кварцовата камера и след това калибрирайте.

Окисление на повърхността на вафлата?

Проверете дали вакуумът е по-малък или равен на 30 mTorr (ако е недостатъчен, проверете за течове и сменете маслото на вакуумната помпа); потвърдете съдържание на O₂ < 3 ppm (ако е превишено, сменете газовата бутилка/проверете за течове от тръбопровода).

Ключови моменти от ежедневната поддръжка?

Избърсвайте кварцовата камера с алкохол всяка седмица, проверявайте модула на лампата на всеки 3 месеца (сменяйте след 1000 часа), проверявайте уплътнителния пръстен за стареене всеки месец, уверете се, че водното охлаждане не надвишава 70 градуса.

Алармата за ниско налягане на настолното RTP оборудване?

A: Изключете процеса, проверете вакуумния тръбопровод, рестартирайте помпата; ако все още не е нормално, проверете скоростта на изтичане (ако надвишава 10 mTorr/min, намерете и поправете изтичането).

Компютърът не може да чете параметри?

Проверете комуникационния кабел между оборудването и компютъра, рестартирайте и опитайте отново; ако все още няма данни, проверете окабеляването на сензора или се свържете с отдела за-продажби, за да проверите софтуерния драйвер.

Как да спрете оборудването при авария?

Натиснете "EMO Emergency Stop", за да изключите източника на топлина и да отворите капака; след отстраняване на повредата, натиснете "RESET", за да нулирате и рестартирате.