Преглед на продукта

Това полу-автоматично RTP оборудване е доста практично, способно да обработва вафли от 8 до 12 инча. Полу-автоматичното RTP оборудване предлага прецизен температурен контрол и много ниско съдържание на кислород, което го прави идеално за приложения, изискващи висока чистота на процеса. Освен това той е-богат на функции, поддържа както атмосферни, така и вакуумни методи за обработка и включва тройни функции за безопасност. Той е идеален за процеси като ITO оптимизация и отгряване на силицидна сплав в средно-обемно производство.

Предимства

Широка адаптивност:

Работи с 8-12 инчови вафли, отговаряйки на нуждите от партидно производство на различни размери. Гъвкавите конфигурации на лампата и SCR се адаптират към различни сценарии на процеси.

Автоматизацията подобрява ефективността:

Въпреки че все още се изисква ръчно зареждане и разтоварване на вафли, вратата на камерата автоматично се отваря и затваря след стартиране на процеса, намалявайки ръчната намеса и подобрявайки оперативната ефективност и последователността на процеса.

Точна атмосфера:

Съдържание на кислород<1ppm, combined with 6-channel MFC, enables precise control of the reaction atmosphere, suitable for impurity-sensitive annealing processes.

Безопасно и надеждно:

Оборудван с тройни функции за безопасност, съчетани с автоматичен контрол на вратата на камерата, намалявайки оперативните и процесните рискове и осигурявайки стабилна работа на оборудването.

Параметри

Модел	RTP-SA-8	RTP-SA-12
Размер на вафлата	8 инча и по-малко	12 инча и по-малко
Размер	970 мм × 1550 мм × 2160 мм (Ш × Д × В)	1050mm×1740mm×2240mm (W×D×H)
Температурен диапазон	RT~~800 градуса (контролиран от термокоп) 500 градуса ~1250 градуса (контролиран от пирометър)	RT~~800 градуса (контролиран от термокоп) 500 градуса ~1250 градуса (контролиран от пирометър)
Максимална скорост на нагряване	150 градуса /s---само вафла 20 градуса /s---SiC носител 30 градуса /s---Графитно носещо покритие SiC	150 градуса /s---само вафла 20 градуса /s---SiC носител 30 градуса /s---Графитно носещо покритие SiC
Равномерност на температурата	По-малко или равно на ±3 градуса @ По-малко или равно на 600 градуса По-малко или равно на ±0,5% при >600 градуса	По-малко или равно на ±3 градуса @ По-малко или равно на 600 градуса По-малко или равно на ±0,5% при >600 градуса
Повторяемост на температурата	±1 градус	±1 градус
Брой лампи/SCR	33 ea / 10 комплекта	41 ea / 16 комплекта 55ea / 24 комплекта
Макс MFC	6	6
Най-ниско налягане	30 mTor	30 mTor
Скорост на теч	10mTorr/мин	10mTorr/мин
O₂Процент	<1 ppm	<1 ppm
Макс./ср. мощност	90/ 50 Kw	100/ 60 Kw
Напрежение	380V/ 60HZ/ 3 фази 5 проводника	380V/ 60HZ/ 3 фази 5 проводника
Контролен метод	PC контрол	PC контрол

ЧЗВ

1. Вратата на камерата не се отваря/затваря автоматично?

Проверете дали процесът е започнал нормално. Рестартирайте оборудването и опитайте отново. Ако проблемът продължава, проверете окабеляването на сензора на вратата на камерата.

2.Съдържанието на кислород надвишава 1 ppm?

Заменете с инертен газ с висока{0}}чистота. Проверете за течове в газопровода. Поправете и тествайте отново нивата на кислород.

3.Неравномерно нагряване на вафли?

Уверете се, че размерът на вафлата е правилен (8/12 инча). Почистете кварцовата камера. Ако проблемът продължава, свържете се с инженер, за да регулира мощността на лампата.

4. Вафлата се изплъзва лесно по време на ръчно зареждане/разтоварване?

Почистете носещата повърхност. Внимателно натиснете вафлата към центъра по време на зареждане/разтоварване. Носете не-хлъзгащи се,-безпрашни ръкавици.

5.Как да спрем при спешност?

Натиснете "EMO Emergency Stop", за да изключите източника на топлина. След като разрешите проблема, натиснете бутона "Нулиране", за да рестартирате.