Преглед на продукта
SCD 12 е 12-инчово автоматично въртящо се-нанасяне и оборудване за проявяване за процес на полупроводникова литография. Проектиран за производство на пластини от 300 mm, той приема модулен-архитектурен дизайн, поддържащ гъвкава конфигурация на камерата. Той може да реализира вградена връзка с инструменти за експониране на литография, покриващи сценарии за масово производство и R&D за интегрални схеми, усъвършенствани опаковки, захранващи устройства и други области.
Той е способен да обработва ултра{0}}тънки и деформирани пластини, поддържа превключване с двоен-размер-размер на пластини без подмяна на части и е напълно съвместим с основните процеси на полупроводникова литография.
Предимства
Висок-капацитет и компактен отпечатък Модулен процес-дизайн на модула, висока производителност, спестява ценно чисто-пространство в стаята. Процесните камери могат да се конфигурират гъвкаво според изискванията на клиента.
Силна възможност за обработка на изкривени-вафли Поддържа стабилен трансфер и обработка за ултра-тънки и изкривени пластини с изкривяване под 5 mm, решавайки трудностите при производството на специални-субстрати.
Съвместимост с два-размера без подмяна на хардуер Превключвайте между различни размери на пластини без подмяна на механични-части, съкращавайте времето за смяна и намалете оперативните разходи.
Вграден-готов за литографски инструменти Допълнителен интерфейсен модул поддържа в-линейно докинг с масови машини за литографско експониране, реализирайки напълно автоматичен трак-литографски работен процес.
Богати функционални{0}}модулни опции Поддържа високо-прецизна гореща плоча, оптично подравняване, излагане на ръба на WEE пластина и други допълнителни компоненти, за да отговарят на разнообразни-изисквания на процеса.
Параметри
|
Артикул |
Спецификация |
|
Модел |
SCD 12 12--инчова машина за центрофугиране и проявяване |
|
Размер на вафлата |
12-инча (300 mm), съвместим с двоен размер без смяна на части |
|
Материал на субстрата |
Да, Стъкло |
|
Конфигурации на камери |
2C2D / 4C / 4D / 4C4D (с възможност за персонализиране) |
|
Поддържан литографски процес |
i{0}}линия, KrF, ArF, PI, SOG, SOC |
|
Приложима литографска ширина на линията |
По-голяма или равна на 90 nm |
|
Максимална пропускателна способност |
110 WPH (зависи от рецептата и конфигурацията) |
|
Съвместимост с изкривена вафла |
Поддържа изкривяване По-малко от или равно на 5 mm ултра-тънки/изкривени пластини предаване и обработка |
|
Размери (Ш × Д × В) |
4970 × 1973 × 2460 mm |
|
Вградена функция |
Допълнителен интерфейсен модул за свързване с литографска машина |
|
Опционални единици |
Високо{0}}прецизна нагревателна плоча, оптично подравняване, WEE модул за експониране на ръба на пластината |
|
Режим на управление |
Локален контрол / дистанционно управление на фабричната автоматизация |
|
Сертификация |
Съвместим със SEMI S2 |
Често задавани въпроси
ЧЗВ
В: Какви субстрати и размери на пластини поддържа SCD 12?
A: Основно за 12 инча (300 mm) вафли, поддържащи Si и стъклени субстрати. Той поддържа превключване на два размера без подмяна на резервни части и може да обработва деформирани/ултра тънки вафли с деформация По-малка или равна на 5 mm.
Въпрос: Какви литографски процеси може да изпълнява тази машина?
О: Поддържа i line, KrF, ArF, PI, SOG, SOC процеси, подходящи за литографска линия с ширина по-голяма или равна на 90 nm.
Въпрос: Може ли SCD 12 да се свърже с литографски скенер/степер?
A: Да. Изберете опционалния интерфейсен модул, за да постигнете In line inline докинг с основните машини за експониране на литография.
Въпрос: Какви конфигурации на камерата са налични за избор?
A: Налични конфигурации: 2C2D / 4C / 4D / 4C4D. Клиентите могат да добавят опционални модули, включително високопрецизна гореща плоча, оптично подравняване, WEE, интерфейсен вграден модул въз основа на изискванията на процеса.
Въпрос: Каква е действителната производителност?
О: Максималната производителност е 110 WPH. Реалната производителност варира в зависимост от действителната конфигурация на камерата и производствената рецепта.
Въпрос: Подходящ ли е SCD 12 както за масово производство, така и за лабораторни изследвания и разработки?
A: Да. Гъвкавата модулна конфигурация може да отговори на изискванията на фабриките за масово производство в голям обем и също така да се адаптира към научноизследователска и развойна дейност в малки партиди в изследователски институти.
Популярни тагове: 12-инчова машина за центрофугиране и проявител, Китай 12-инчова машина за центрофугиране и проявител производители, доставчици
