Преглед на продукта
Вертикалната сушилня за вафли -този е създаден с мисъл за прецизност, пригоден специално за строгите изисквания на тези индустрии.
Какво го прави практичен? Като за начало има две независими камери,-така че можете да изпълнявате различни процеси едновременно без кръстосано-замърсяване, което е огромна-спестяваща време на натоварени производствени линии. След това има усъвършенствана система за контрол; той не просто „контролира“ нещата, но фино-настройва всеки параметър, за да поддържа последователността-твърда. И най-хубавото е, че комбинира почистване и сушене в едно устройство-няма нужда да премествате вафли между машини, намалявайки манипулирането и риска от повреда.
В крайна сметка, това, което държи на производителите, е надеждността и чистотата-, а тази сушилня осигурява и двете. Това е вид оборудване, което не просто отговаря на индустриалните стандарти, но се вписва гладко в начина, по който работят истинските производствени екипи.
Приложения
Вертикалната сушилня за вафли, проектирана да се справи със сушенето след киселинно почистване със SPM и органично почистване-две стъпки, при които контролът на остатъците е от първостепенно значение. Освен това той също така поддържа нуждите след-сушене за проявяване на фотолитография, отстраняване на фоторезист, ецване ITO/BOE и центрофугиране. Най-голямото предимство тук е неговата последователност: гарантира липса на остатъчни замърсители или проблеми с частици, поддържайки качеството на процеса стабилно партида след партида.
Тази вертикална сушилня за вафли също блести в-сценарии на приложение с високи залози. За опаковане на микро-сензори и чиплети на ниво вафла, той поддържа степента на фрагментация под 1/10 000-число, което директно означава спестяване на разходи за производителите. Освен това той е много-подходящ за обработка на температурно-специални пластини, като галиев арсенид и сапфир. Тези материали са деликатни, но сушилнята отговаря на техните ултра{11}}изисквания за ултра{11}}чистота и ниски-повреди, така че няма нужда да се притеснявате за дефекти, свързани с процеса.
Предимства
Азотно запечатване Mayrinth, кухината и изолацията на кухината, без ефект на контактно запечатване, за да се осигурят изискванията на околната среда на процеса.
Онлайн откриване на шок
Функция за елиминиране на електростатично електричество, продуктът ще произвежда статично електричество при висока скорост, използването на устройство за отстраняване на електростатично електричество с високо напрежение, за да направи състоянието на неутрализация на повърхността на продукта
Функция за механично само{0}}рестартиране, спиране на резервната кутия с чип с лице нагоре
Параметри
|
Категория |
Артикул |
Подробности за спецификацията |
|
Основна информация |
Име на продукта |
Вертикална двукамерна сушилня |
|
Номер на модела |
Semiclean-QX-61-2M-A |
|
|
Размер (справка) |
L×D×H=Ширина на повърхността 490 mm × Дълбочина 937 mm × Височина 1880 mm |
|
|
Тегло (приблизително) |
260 кг |
|
|
Процесна кухина и касета |
Процесна кухина |
Двойна кухина (горна и долна), независимо контролирана; може да постави 6" персонализиран носещ ротор |
|
Използван тип касета |
KM-40N (100 mm), A182-60MB (150 mm) |
|
|
Спецификации на части за почистване и сушене |
Оборудван с 2 бр. 4" персонализирани ротори; касетата се доставя от клиента, частите на ротора са окончателни образци на дизайна |
|
|
Оперативни параметри |
Настройка на времето на процеса |
1s - 900s; точност на поддръжката По-малко или равно на ±5% |
|
Работна скорост |
100-2500rpm/min (регулируеми според характеристиките на продукта и процеса); грешка на скоростта < ±2% |
|
|
Температурен диапазон на сушене в камерата |
Минимум: По-голям или равен на 45 градуса; Максимум: По-малко или равно на 85 градуса |
|
|
Изискване за химическа чистота |
Частици, по-големи или равни на 0,3 μm < 30 зърна/вафла |
|
|
Оборудване UPTIME |
По-голямо или равно на 95%; среден месечен проблем-свободно работно време По-голямо или равно на 648H |
|
|
Скорост на фрагментиране на операцията |
По-малко или равно на 1/10000 |
|
|
Изисквания за медиите |
Дейонизирана вода |
Диапазон на налягането: 0.2~0.4Mpa; максимален дебит: 0.7m³/h |
|
Азот |
Диапазон на налягането: 0.5~0.6Mpa; максимален разход: 18-20m³/h; използвани за отопление и запечатване |
|
|
Функции и защита |
Почистване със спрей |
Оборудван с устройство за почистване със спрей и процес на само-почистване на кухината |
|
Уплътняване по време на работа |
Вратата на камерата и валът на двигателя са уплътнени с азот |
|
|
Откриване на течове |
Вграден-сензор за теч; задейства аларма за теч, за да избегне теч |
|
|
Защита на процеса |
След като процесът приключи, интерфейсът не може да се управлява, ако вратата не е отворена, за да се извадят продуктите, избягвайки вторична работа |
|
|
Система за контрол |
Основен контрол |
PLC програмируем контрол; спестява 10 секции на процеса (10 стъпки на секция); потребителите могат да включват/изключват всяка под-функция според нуждите |
|
Контрол на разрешенията |
2 вида контрол на разрешения за работа, всеки конфигуриран с парола за разрешение |
|
|
Функция на дисплея |
Екранът показва информация за всеки процес |
|
|
Режим на управление и интерфейс |
Всяка камера може да бъде независимо контролирана; операционен интерфейс: LCD сензорен екран |
ЧЗВ
За кои индустрии е създадена тази вертикална сушилня за вафли?
Основно е пригоден за секторите на полупроводниците и микроелектрониката-мислете за сценарии, при които изсушаването на пластини с висока-чистота не-подлежи на обсъждане. Всяка част от неговия дизайн се основава на уникалните нужди на тези индустрии.
Какви основни процеси може да обработва?
Той обхваща цял набор от ключови стъпки за обработка на вафли. По-конкретно, той се грижи за работата след{1}}изсушаване след киселинно почистване с SPM, почистване с органичен разтворител, проявяване на фотолитография, отстраняване на фоторезист, ецване ITO/BOE и центрофугиране на покритие-всички критични точки, където пълното изсушаване има значение.
Каква е ползата от неговия дизайн с двойна{0}}кухина?
Горната и долната кухина работят независимо-можете да контролирате всяка отделно. Това означава, че можете да обработвате вафли и в двете едновременно, което наистина повишава ефективността на производството. Плюс това, ако различните процеси се нуждаят от различни параметри, всяка кухина може да се справи перфектно със собствените си настройки.
Какъв е стандартът за чистота след изсушаване?
Доста е строго и има защо. След изсушаване всяка вафла има по-малко от 30 частици, които са 0,3 μm или по-големи. Това е точно в съответствие с високите-изисквания за чистота при производството на полупроводници.
Лесен ли е за работа?
Абсолютно. Предлага се с LCD сензорен екран и PLC програмируем контрол-супер интуитивен. Можете да съхранявате до 10 секции на процеса, като всяка секция може да има 10 стъпки. Има и управление на пароли с двойно-разрешение за сигурност. Дори новите оператори научават основите бързо.
Колко надеждно е оборудването?
Неговата оперативна стабилност е голямо предимство. UPTIME на оборудването достига поне 95% и то работи без проблеми средно 648 часа или повече всеки месец. Още по-добре, скоростта на фрагментиране на пластините е не повече от 1/10 000 по време на работа-така че няма да загубите много от проблеми в оборудването.
Какъв носител е необходим, за да работи?
Само два вида: дейонизирана вода и азот. Дейонизираната вода се нуждае от налягане между 0,2-0,4Mpa, с максимален поток от 0,7m³/h. Азотът изисква налягане от 0,5-0,6Mpa и използва най-много 18-20m³/h. Те се използват съответно за почистване, нагряване и запечатване - всеки играе ключова роля за правилното вършене на работата.
Популярни тагове: вертикална сушилня за вафли, Китай вертикална сушилня за вафли производители, доставчици
