Устройството за магнетронно разпръскване е гръбнакът на PVD технологията-нашите три модела поставят метални, диелектрични и полупроводникови филми с най-висок-прорез, но те са създадени за различни задачи. Ако си блъскате главата кой е подходящ, това ръководство го разбива просто въз основа на това кой ги използва и за какво се използват.
За кого е всеки модел?
Индустриален еднокамерен-модел: Направено за големи производители на полупроводници, произвеждащи CMOS/IGBT и други интегрални схеми. Тези екипи се нуждаят от стабилна производителност, ниски текущи разходи и оборудване, което лесно се поддържа-нещо, което се плъзга направо в техните масови производствени линии без суетене.
Промишлен много{0}}камерен модел: Идеален за-производители на електронни устройства от висок клас, фокусирани върху 5G или оптоелектроника. Те се справят със сложни много-слойни филми в мащаб, така че автоматизацията, прецизността и чистата обработка (без замърсяване от ръчни стъпки) не-подлежат на обсъждане.
Модел-на степен на проучване: Перфектен за университети, лаборатории и стартиране на нови материали. Хората тук тестват малки партиди-мислете за прототипи от силициев карбид или квантови чипове-така че се нуждаят от гъвкавост, за да променят настройките и да поддържат разходите за научноизследователска и развойна дейност под контрол.
За какво се използват?
Индустриален еднокамерен-модел: Блести при масово-произвеждане на стандартни филми върху 8-инчови (или по-малки) вафли. Той е бърз, последователен (равномерността на филма остава под ±3%) и използва целите ефективно за намаляване на разходите. Работи чудесно със силиций, съединения, керамика - всички основни продукти на промишленото производство.
Промишлен много{0}}камерен модел: Справя се с трудните неща: широко{0}}производство на сложни много-слойни филми за 5G и оптоелектронни устройства. Неговите модулни, автоматизирани камери повишават ефективността, докато усъвършенстваният контрол на частиците поддържа филмите изключително-чисти. Пасва на 6-8 инчови пластини и работи добре със силиций, съединения и др.
Модел-на степен на проучване: площадка за научноизследователска и развойна дейност. Поддържа едно-целево, много-целево последователно или съвместно-разпръскване-чудесно за тестване на метали (Al, Au, Cu), диелектрици (SiO₂, TaN) и полупроводници. Има прецизен контрол на температурата (RT-600 градуса, отопление/охлаждане) и обработка на малки-партиди, за да спестите пробни пускания, плюс допълнителни екстри като предвакуумни камери.
Бърз избор: 3 лесни стъпки
Започнете с основната си цел: Масово производство? Отидете индустриално. R&D? Вземете изследователския модел.
Стеснете го: Стандартни филми/8-инчови вафли масово производство → едно-камера. Сложни много-слойни филми → много-камерни. Гъвкаво тестване на малки-сериди → изследователски клас.
Проверете -двойно ключовите подробности: размер на вафлата (максимум 8-инча за единични/изследователски, 6-8 инча за много-камерни), съвместимост на материалите (всички поддържат не-силициеви неща като керамика или метали) и надстройки (много-камерните/изследователските модели могат да добавят целеви пистолети – еднокамерните не могат, така че планирайте предварително).
