Преглед на продукта
Nice-Tech предлага две специални системи за ецване на силиций за различни размери на пластини, базирани на ICP технология и пригодени за масово производство на интегрални схеми.
12-инчова система (SES-12)
Фокусира се върху 12-инчови IC front end-процеси (FEOL). Съставен от камери за ецване ICP и модул за прехвърляне, той обхваща силициево ецване, диелектрично ецване, ецване с порта, W recess и SADP, предназначени за високопрецизно моделиране на логически и памет устройства.
8-инчова система (SES-8)
Много-камерна система за 8-инчови фабрики, съсредоточена върху процесите на вратата. Осигурява по-малко от или равно на 5% еднородност при ецване в-вафла и вафла-към-вафла, отличен контрол на частиците и поддържа AA, STI, дистанционер и W вдлъбнатина.
Предимства
Широко покритие на процеса
Тук имаме две основни настройки. 12-инчовата система поема всички видове FEOL процеси, без проблем. Що се отнася до 8-инчовия? Фокусиран е върху гейт и свързани процеси и пасва идеално на възли от 0,11 μm и повече.
Висока прецизност и стабилност
Прецизността е мястото, където тези системи блестят. 12-инчовият модел осигурява еднородност от най-високо- ниво и селективност на ецване – точно това, което изискват напредналите процеси. 8-инчовата версия също държи на себе си: ниско отклонение на равномерността плюс стриктен контрол на частиците, така че можете да разчитате на постоянни резултати.
Масово-производство и-ефективност на разходите
Най-хубавото е, че и двете са готови за масово производство. 12-инчовият е създаден за широко-производствени линии, което има смисъл за големи-тиражи. 8-инчовият обаче е умен избор, ако надграждате капацитета – спестява както място, така и разходи, което винаги е плюс за операциите.
Приложение
IC FEOL Производство
12-инчова система за 12-инчови логически/памет FEOL процеси; 8-инчова система за 8-инчово ецване на врата.
Разширени процеси
12-инчовата система поддържа SADP/W вдлъбнатина; 8-инчовата система работи за STI/spacer процеси.
Надграждане на капацитета
12-инча се интегрира в големи фабрики; 8-инча осигурява рентабилна поддръжка за средно малки фабрики.
Параметри
|
Категория |
12-инчова силиконова система за гравиране |
8-инчова силиконова система за гравиране |
|
Съвместимост с вафли |
12-инча (300 мм) IC пластини, персонализирани за линии за масово производство |
8-инчови IC вафли; съвместим с 0,11 μm и усъвършенствани технологични възли |
|
Конфигурация на камерата |
ICP камери за ецване + трансферен модул |
ICP ецващи камери + трансферен модул; много{1}}камерен дизайн за масово производство |
|
Ключови възможности на процеса |
Силиконово ецване, диелектрично ецване, ецване на врата, W вдлъбнатина, SADP |
Гейт гравиране, AA, STI, дистанционер гравиране, W вдлъбнатина |
|
Етч Еднородност |
Превъзходен контрол на еднородността (отговаря на усъвършенстваните стандарти за прецизност на възлите) |
По-малко или равно на 5% във-вафла; По-малко или равно на 5% вафла-към-вафла |
|
Контрол на частиците |
Стриктен контрол на частиците за висок добив на продукта |
Отличен контрол на частиците за стабилно масово производство |
|
Индустриално съответствие |
Подходящо за 12-инчово масово производство на IC; отговаря на стандартите за масово производство на полупроводници |
Независим оптимизиран дизайн; отговаря на 8-инчовото производствено пространство и изискванията за разходи за надграждане на капацитета |
ЧЗВ
Въпрос: Какви размери на пластини поддържат двете системи?
О: 12-инчовата система поддържа 12-инчови (300 мм) IC пластини, а 8-инчовата система поддържа 8-инчови IC пластини.
Въпрос: Какви основни процеси покриват?
A: 12-инчовата система обхваща силициево ецване, диелектрично ецване, SADP, W recess и др.; 8-инчовата система се фокусира върху gate etch и поддържа STI, spacer etch и т.н.
Въпрос: С кои технологични възли са съвместими?
A: 12-инчовата система се адаптира към напреднали технологични възли; 8-инчовата система е съвместима с разширени възли от 0,11 μm и повече.
Въпрос: Подходящи ли са и двете системи за масово производство?
A: Да. 12-инчовата система пасва на широкомащабни-производствени линии, докато 8-инчовата система спестява място и е рентабилна за масово производство.
Въпрос: Каква е равномерността на ецване на 8-инчовата система?
О: Има по-малко от или равно на 5% в рамките на-еднородност на вафла и по-малко от или равно на 5% еднородност на вафла--вафла.
Популярни тагове: система за ецване на силиций, Китай производители на системи за ецване на силиций, доставчици
